大連空氣源熱泵主要技術表現為兩種:一種是以美國AG、MPT、德國AST等公司為代表的單點測溫技術、熱源為線狀光源(燈管)的雙面加熱形式，利用紅外熱輻射加熱的原理對硅晶片直接加熱實現。另一種是美國應用材料公司獨特的多點側沮技術、熱源采用點狀光源(燈泡)、單面加熱形式，球形燈泡發出的光經過高透過率的石英窗口進入反應腔內對位于硅片支排環上的硅片加熱.

  溫度信號檢側是通過多個響應時間非?？斓募t外式探針來實時檢測，品片在加熱過程中高速旋轉，使得晶片表面與反應氣體之間的接觸概率相差無幾。爐料的散熱功能，爐料的散熱功能越好，內部熱量向外丟失越快，熱量很容易就損耗在反響料之外，致使必定點的溫度下降?？墒侨羰欠错懥系纳峁δ芮泛?，則利于熱量的會聚，使得熱量向外傳遞時刻加長，有利于反響料對熱量的吸收和反響地進行，進步必定點的溫度。

  應都在高真空條件下(4～13Pa)進行，反響溫度1200℃左右，芯溫度很快就能到達所需值，因而反響時刻的長短取決于反響料的厚度，即爐芯外圍反響料到爐體保溫層的間隔。能夠經過規劃爐體尺度操控供電時刻。